真空科学与技术学报期刊影响因子为：0.43。
真空科学与技术学报杂志国内刊号为：11-5177/TB，目前被北大期刊(中国人文社会科学期刊)、CSCD 中国科学引文数据库来源期刊(含扩展版)、统计源期刊(中国科技论文优秀期刊)、知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、CA 化学文摘(美)、JST 日本科学技术振兴机构数据库(日)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏等收录，获得过中国优秀期刊遴选数据库、中国期刊全文数据库（CJFD）、中国学术期刊（光盘版）全文收录期刊、中国科技期刊优秀期刊、北大图书馆收录期刊等荣誉。
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