微细加工技术杂志收录论文类型主要包括：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。
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4、关键词一般3~8个，要规范，必须是名词或名词性词组，所有关键词要便于检索和索引。
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微细加工技术杂志是由信息产业部主管，中国电子科技集团公司第48研究所主办的统计源期刊，影响因子为：0.19。顺应社会的发展，杂志获得了多项荣誉：Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊等。
杂志往期论文摘录展示
电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析
环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究
电子束直写中X射线光刻掩模的热形变研究
飞秒激光应用于合金材料微细加工的试验研究
光刻机试验运动装置振动信号的时频分析
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