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Journal Of Vacuum Science & Technology A 杂志简介

《Journal Of Vacuum Science & Technology A》重点专注发布材料科学：膜-工程技术领域的新研究，旨在促进和传播该领域相关的新技术和新知识。鼓励该领域研究者详细地发表他们的高质量实验研究和理论结果。该杂志创刊至今，在材料科学：膜-工程技术领域，有较高影响力，对来稿文章质量要求较高，稿件投稿过审难度较大。欢迎广大同领域研究者投稿该杂志。

Journal Of Vacuum Science & Technology A 杂志中科院分区

中科院SCI分区数据

中科院SCI期刊分区（2023年12月升级版）

大类学科	分区	小类学科	分区	Top期刊	综述期刊
材料科学	3区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用	3区 3区	否	否

中科院SCI期刊分区（2022年12月升级版）

大类学科	分区	小类学科	分区	Top期刊	综述期刊
材料科学	2区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用	3区 3区	否	否

中科院SCI期刊分区（2021年12月旧的升级版）

大类学科	分区	小类学科	分区	Top期刊	综述期刊
材料科学	3区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用	3区 3区	否	否

中科院SCI期刊分区（2021年12月基础版）

大类学科	分区	小类学科	分区	Top期刊	综述期刊
工程技术	4区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用	4区 4区	否	否

中科院SCI期刊分区（2021年12月升级版）

大类学科	分区	小类学科	分区	Top期刊	综述期刊
材料科学	3区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用	3区 3区	否	否

中科院SCI期刊分区（2020年12月旧的升级版）

大类学科	分区	小类学科	分区	Top期刊	综述期刊
材料科学	2区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用	2区 3区	否	否

中科院分区趋势图

影响因子趋势图

中科院JCR分区：中科院JCR期刊分区（又称分区表、分区数据）是中国科学院文献情报中心世界科学前沿分析中心的科学研究成果，是衡量学术期刊影响力的一个重要指标，一般而言，发表在1区和2区的SCI论文，通常被认为是该学科领域的比较重要的成果。

影响因子：是汤森路透(Thomson Reuters)出品的期刊引证报告(Journal Citation Reports,JCR)中的一项数据，现已成为国际上通用的期刊评价指标，不仅是一种测度期刊有用性和显示度的指标，而且也是测度期刊的学术水平，乃至论文质量的重要指标。

Journal Of Vacuum Science & Technology A 杂志JCR分区

Web of Science 数据库（2023-2024年最新版）

按JIF指标学科分区	收录子集	分区	排名	百分位
学科：MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS	SCIE	Q3	13 / 23	45.7%
学科：PHYSICS, APPLIED	SCIE	Q3	96 / 179	46.6%

按JCI指标学科分区	收录子集	分区	排名	百分位
学科：MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS	SCIE	Q3	12 / 23	50%
学科：PHYSICS, APPLIED	SCIE	Q2	88 / 179	51.12%

Journal Of Vacuum Science & Technology A CiteScore 评价数据（2024年最新版）

CiteScore：5.1
SJR：0.569
SNIP：0.957

CiteScore 排名

学科类别	分区	排名	百分位
大类：Physics and Astronomy 小类：Condensed Matter Physics	Q2	135 / 434	69%
大类：Physics and Astronomy 小类：Surfaces and Interfaces	Q2	19 / 57	67%
大类：Physics and Astronomy 小类：Surfaces, Coatings and Films	Q2	45 / 132	66%

CiteScore趋势图

年发文量趋势图

CiteScore：是由Elsevier2016年发布的一个评价学术期刊质量的指标，该指标是指期刊发表的单篇文章平均被引用次数。CiteScore和影响因子的作用是一样的，都是可以体现期刊质量的重要指标，给选刊的作者了解期刊水平提供帮助。

Journal Of Vacuum Science & Technology A 杂志发文统计

文章名称引用次数
Review Article: Stress in thin films and coatings: Current status, challenges, and prospects72
Status and prospects of plasma-assisted atomic layer deposition26
Practical guides for x-ray photoelectron spectroscopy: First steps in planning, conducting, and reporting XPS measurements23
Functional model for analysis of ALD nucleation and quantification of area-selective deposition19
Review Article: Catalysts design and synthesis via selective atomic layer deposition16
Paradigm shift in thin-film growth by magnetron sputtering: From gas-ion to metal-ion irradiation of the growing film14
Review Article: Atomic layer deposition for oxide semiconductor thin film transistors: Advances in research and development14
Atomic layer deposition of silicon-based dielectrics for semiconductor manufacturing: Current status and future outlook13
Review Article: Crystal alignment for high performance organic electronics devices12
Vapor-deposited octadecanethiol masking layer on copper to enable area selective Hf3N4 atomic layer deposition on dielectrics studied by in situ spectroscopic ellipsometry11
国家/地区发文量
USA368
Japan77
GERMANY (FED REP GER)61
South Korea56
France44
Sweden33
CHINA MAINLAND31
England29
Finland26
Netherlands26
机构发文发文量
UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY (DOE)58
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)30
UNITED STATES DEPARTMENT OF DEFENSE26
LINKOPING UNIVERSITY25
UNIVERSITY OF ILLINOIS SYSTEM24
UNIVERSITY OF CALIFORNIA SYSTEM20
CEA18
UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM17
UNIVERSITY SYSTEM OF MARYLAND17
LAM RESEARCH CORPORATION16

Journal Of Vacuum Science & Technology A 杂志社通讯方式

《Journal Of Vacuum Science & Technology A》杂志通讯方式为：A V S AMER INST PHYSICS, STE 1 NO 1, 2 HUNTINGTON QUADRANGLE, MELVILLE, USA, NY, 11747-4502。详细征稿细则请查阅杂志社征稿要求。本站可提供SCI投稿辅导服务，SCI检索，确保稿件信息安全保密，合乎学术规范，详情请咨询客服。